Kawasaki川崎硅片傳輸機械手優勢：
采用伸縮結構，可兼顧向低位傳遞和向高位輸送；
對應FOUP數：最多3FOUP。
Kawasaki川崎硅片傳輸機械手
       川崎硅片傳輸機械手通過使用錐齒輪并采用沒有齒隙的緊密齒輪設計，有效減輕齒面的負擔，在降低使用磨損減少噪音的同時能夠提高重復定位的精度。其優勢在于以微米單位的齒面嚙合技術，能輕松實現碰撞檢測功能及拖拽示教功能。